二手 TEGAL 903 #9152161 待售

TEGAL 903是一款蚀刻器和asher，为制造可靠性和性能水平最高的集成电路提供了先进的平台。它是一个可靠的平台，支持蚀刻和灰分工艺，具有一致的可重复性，并在广泛的半导体工艺参数中产生产量。903具有现代化的用户界面（UI）和直观的GUI,以及先进的分布式内存技术、基于矩阵的配方,以及精确和控制过程参数的全面列表,为各种过程需求提供了灵活的平台。此外,TEGAL 903还提供全流程一致性、快速恢复和严格的流程控制规范,以及多蚀刻流程功能。903具有强大的耐用性和可靠的性能在整个半导体制造操作领域,从介电多环化物到RIE和阵列灰化应用。TEGAL 903利用用户友好的图形界面,并提供一系列设备自动化功能,可帮助快速轻松地设置蚀刻和灰化操作的配方。该系统的分布式内存技术可确保从2 µm到8 µm的产品提供可靠且可重复的模式。903还具有用于多次蚀刻和灰烬操作的多过程功能,例如RIE浅沟槽隔离（STI）应用。TEGAL 903的强健控制和数据采集（CDA）单元提供了精确和可重复性，以满足最苛刻的半导体处理需求。903的高级体系结构能够在过程运行期间对所有参数进行精确的过程控制和完全控制。它还能够通过综合流程数据采集机（PDS）或命令行提供流程优化。TEGAL 903在铸造和装配操作要求高水平的蚀刻和灰化复杂性和精确度时提供卓越的性能和成本效益。它配备了一整套自动化和手动操作的控制和软件程序,使用户能够优化效率并产生性能。903的最终目标是为质量最高的终端产品提供可靠、经济高效的制造工艺。