二手 TEGAL 903 #9250122 待售

TEGAL 903是一种批量样式的蒸气相蚀刻器/灰化器,用于高端蒸气相蚀刻和灰化应用,需要大量精确的结果。它具有专利的低温工艺（LTP）与专利等离子体为基础的前体化学，它提供了一个深度蚀刻特征与优化地形。该设备的设计包括各种工艺模块，以确保在蚀刻、气相沉积和沉积过程中具有高精度。这些模块包括3D蚀刻、受控时间蚀刻、高级薄膜形成、原子层沉积和其他专有过程。903是一个自动化系统,这意味着无需手动调整设备即可将其编程为执行多种不同的蚀刻和灰化过程。机器配备了多种精密元件和自动化测量,以确保其可重复的性能。设备功率范围为1250至2500瓦，非常适合大容量蚀刻和灰化应用。该单元还包括一个可选的涡轮脉冲驱动器，使其能够运行更高的功率，并提供更精确的蚀刻深度。TEGAL 903具有获得专利的温度补偿技术,允许机器根据需要调整其功率和工艺参数,以确保一致的蚀刻深度。它还有一个独特的气体Heaterflow（GHF）工具，可以提供高度均匀的过程气体分布。此外，该资产在低温下运行，采用自对准热电平，从而减少将气体捕获在设备表面的机会。设备包括大量选项，包括一个板载配方管理器，用于编程蚀刻和灰度配方，以及许多用于监控过程的分析工具，包括倾斜角度成像、SEM和X射线分析。这些工具使用户能够最大限度地提高设备的准确性和生产率。最后，903具有强大的矢量驱动电机的高精度和可重复性。TEGAL 903是一款用途广泛、精密的蚀刻器/asher,能够为大容量蚀刻和灰化应用产生优异的效果。其广泛的工艺模块、高级功能和可定制的选项使其成为满足各种蚀刻和灰化需求的理想工具。