二手 TEGAL 903 #9265523 待售

TEGAL 903是第3代蚀刻器/asher，由TEGAL Corporation设计制造。它是一种化学蚀刻与化学灰化相结合的双喷雾设备，为晶圆的制造提供了一种新的关键工艺。903系统提供了两全其美-两喷嘴中每种气体的精确对准,以及分别控制化学蚀刻和化学灰化的多个参数的灵活性。这些特性可以实现广泛的工艺目标，从时间/温度控制到复杂的气体和组件组合。TEGAL 903旨在提供可靠的性能和高速吞吐量。它能够在15秒内蚀刻和灰化多达2英寸（5厘米）的晶片。每个蚀刻/灰分循环可以从0.1到2.0ml拨号，允许用户自定义蚀刻/灰分进程的程度。还可以将单位设置为等压或统计模型蚀刻/灰分循环，以增强结果。903是一款高性能机器，通过数字过程控制、温度和压力传感器、总负载检查以及可编程逻辑控制系统进行增强。这些功能允许完全的可编程性和过程自动化。该工具还具有图形用户界面,可访问超过256种预设配方,从而使用户能够快速重新创建以前安装中使用的配方。在安全性方面，TEGAL 903的设计符合业界最严格的标准。设有过压保护、防静电放电装置、电弧故障互锁系统。该资产还符合所有适用的UL、CSA和IEC安全标准。最后,903是一种健壮且可高度配置的蚀刻器/asher。TEGAL 903具有双过程喷嘴设计、高速循环时间、可编程操作参数以及直观的图形用户界面，是晶圆制造的强大工具。903具有出色的精度、可靠性和安全特性,是各种工艺的理想选择。