二手 TEGAL 903E Series #83010 待售
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ID: 83010
晶圆大小: 6"
Etcher, 6"
Includes:
ENI ACG-10 RF Generator (1000 Watt)
DEC monitor station
Chart recorder
(Qty 4) Mass flow controllers with certified calibration sheet
Pressure controller with certified calibration sheet
Heated baratron with certified calibration sheet
Upgraded pressure manifold with Nupro valves
Upgraded gas manifold with Nupro valves
Top plate chuck interlock
Vacuum valve RF interlock
Install new stepper motors
Install new cylinders
Install upper electrode
Install chemically clean upper ceramic insulator
Install new 6” lower electrode (chuck)
Install new 6” castellated ceramic ring
Install new 6”super spatula assy's
Install 6” super tine assy
Install new quartz pins
Install new collar pins
Install new metering valves
Install new flexible gas lines
Rebuild chuck cylinder
Rebuild pin cylinder
Install new flow switches SST
Install new standoffs
Install new safety covers
Install new bellows HPS angle valve
Install new seals and O-rings, process chamber assy
Install bearings, as necessary
Install new sapphire rod
Install new fiber optics
Install new sensor PCB
Install new tubing
Install new capacitive sensors
Install new RF cables
Install new variable caps
Tegal Chillers available at additional cost.
TEGAL 903E Series Etcher/Asher是一种先进的直列式化学蚀刻器和Asher设备，用于广泛的应用，包括半导体器件制造、印刷电路板生产和MEMS器件制造。该系统设计为具有精确、速度、精度和高度柔韧性的蚀刻和粉刷。TEGAL 903E包括高级xy轴运动阶段、高分辨率光学编码器表和PC/Windows/Software操作环境。运动阶段包括长冲程线性驱动和耐用、可重复的舞台运动,可促进大面积蚀刻和灰化过程。高分辨率光学编码器表提供精确、一致的定位和可重复的运动，以确保精确蚀刻和灰化。PC/Windows/Software操作环境用户友好,可以轻松直观地控制设备。TEGAL 903E包含一个多区域真空机,为蚀刻和灰化提供密封环境。真空工具根据所需工艺的数量进行调整，范围从单区域到多区域工艺。此外,可以将多个蚀刻配方编程到资产中,用于不同的过程,从而实现简单、可重复的蚀刻和灰化过程。TEGAL 903E还采用了先进的Cool-GasTM喷嘴控制模型,该模型提供了对气流和压力水平的精确控制,以增强蚀刻和灰化过程控制。此外，该设备还包括晶圆温度监测和反馈系统，可自动调节冷气喷嘴条件，确保基板温度精度和稳定性。TEGAL 903E还包括高级联网功能。该设备可以联网到其他蚀刻和灰化系统,也可以联网到客户的流程计算机,以便于对流程进行监视和控制。此外,还可以将计算机与客户现有的控制软件联网,以便与其他串联处理系统集成。总体而言,903E Series Etcher/Asher是一种高级且可靠的蚀刻和灰化工具,专为需要精确控制和可重复性的应用而设计。该资产集成了多种功能和功能,为用户提供了以精确、快速和精确的方式执行蚀刻和灰化的灵活性。
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