二手 TEGAL 903E Series #92424 待售

TEGAL 903E系列是一种革命性的单室直接灰化器/蚀刻器设备,旨在快速加工晶片、芯片、基材和材料,重点是精度和精确度。TEGAL 903E基于全自动平台,允许通过触摸按钮控制过程变量和配方,从而提供卓越的结果重复性。TEGAL 903E具有湿法和干法蚀刻工艺,是半导体、纳米技术和MEMS市场先进工艺开发和生产测试的完美工具。该903E具有精确的计算机控制机械臂和精确的计算机控制蚀刻室，提供了卓越的精度和可重复性。该系统能够以极高的精确度对小样品进行极其快速的处理。TEGAL 903E蚀刻装置是为高通量应用而设计的，带有一个工艺室，根据蚀刻溶液的确切数量进行校准。超大型反应室允许完全覆盖晶片和样品，从而实现最大的蚀刻效率。该903E还具有简单易用的触摸屏用户界面,具有板载软件和多种控制语言。所有的淬火、蚀刻和干燥操作都是完全自动化和精确的，提供了坚实的一致性和对过程的精确控制。TEGAL 903E允许用户优化特定材料的蚀刻和沉积工艺,并定制工艺配方。晶片在TEGAL 903E中自动加载和卸载,样品取向完全自动化。独特的旋转和振动样品特性有助于最小化颗粒积累和表面粗糙度。该903E还包括一个先进的淬火程序，以尽量减少晶圆损坏和后蚀刻粗糙度，同时实现更高的蚀刻速率，并提高分辨率。903E系列是一款功能强大的多合一蚀刻和asher/etcher机器。TEGAL 903E具有更高的吞吐量、卓越的精确度和准确性、改进的可重复性以及全面的自动化,是快速处理各种应用的小型样品的理想解决方桉。其卓越的淬火工艺提供了卓越的晶片完整性，提高了蚀刻速率和分辨率，从而产生了高质量、一致的结果。