二手 TEGAL 903E #293594316 待售

TEGAL 903E是一个独特的蚀刻器/asher,它提供了一种集成的方法来处理asher和蚀刻。它具有两种形式的晶圆蚀刻和两种形式的灰化，以获得更好的性能和可靠性。此蚀刻器/asher能够处理各种基板,并且能够处理单层和多层应用程序。该单元设计为以单一电源电压运行,同时具有蚀刻和灰化两种型号。它有一个底板，用于在蚀刻过程中携带晶片。底板上有一个与之相连的环，为蚀刻工艺提供精度和均匀性。TEGAL 903 E的加热系统设计为保持温度均匀，以确保精确蚀刻。蚀刻过程结束后，晶片冷却到预定温度，然后再送到灰烬机。903E的asher组件具有两种不同形式的asher,根据应用程序的不同,可以从中进行选择。第一个选项是快速asher,它非常适合需要快速完成蚀刻和ashing过程的应用程序。第二种选择是慢速asher，它是较高精度的工作和较慢的蚀刻和ashing过程的理想选择。这两个ashing选项都配备了可调节的温度设置，允许用户获得特定应用程序所需的确切结果。为提高903 E的蚀刻和灰化率，有两个多溅射选项。它们被用作等效于多重蚀刻，因为它们可以在蚀刻和灰化过程开始之前在晶片上均匀地分散增加的蚀刻气体。TEGAL 903E的阳极和阴极网旨在确保最佳蚀刻和灰化性能，电源提供可控的蚀刻工艺。最后，TEGAL 903 E配备了一个计算机界面，允许用户自动化整个蚀刻和灰化过程。自动化过程可用于快速、准确的蚀刻和灰化晶片，无需操作员的重大干预。计算机界面易于使用和编程，意味着用户可以完全控制整个过程。903E是一个有效的蚀刻和灰化系统，适合各种应用。