二手 TEGAL 903E #293745370 待售

TEGAL 903E是TEGAL Corporation开发的高质量反应性离子蚀刻（RIE）设备。它能够实现对各种材料的精密蚀刻，如硅、砷化氙、石英和其他材料。该系统具有一个13升体积的大腔室，为蚀刻更大的样品提供了充足的空间。它配备了一个高功率微波发生器，可进行精确的微波频率控制和广泛的频率选择，以及偏置控制，使用户能够以所需的角度蚀刻基板。此外，该单元还包含一个400MW功率的氙等离子体喷枪，进一步允许精密蚀刻，并防止对半导体晶片的附带损害。TEGAL 903 E蚀刻机的高精度是由它在功率500-1000W时对刀具进行控制的能力以及它的单级高真空室进一步提供的。该腔室能够达到10-7 Torr的真空水平，从而允许更高的蚀刻速率和可重复性。此外,903E还包括一个自动化工作负载管理器,该管理器提供资产控制自动化功能,并能够与其他系统联网。这允许在模型的不同腔室同时执行多个程序。903 E还具有多项安全功能，以确保操作员和环境的安全。设备配有气体稳定系统，能够精确控制蚀刻气体。它还包括一个紧急停止开关，如果检测到超压或极端温度，该开关就起作用。TEGAL 903E蚀刻器是一种用途极为广泛、精密的蚀刻装置，适用于研究和工业环境中的广泛应用。其多种特性和安全特性使其适合各种不同的蚀刻需求。