二手 TEGAL 903E #293766667 待售

TEGAL 903E是为制造半导体、MEMS和纳米技术装置而设计的先进蚀刻/灰化工具。它能够进行多步反应性离子蚀刻（RIE）和湿法化学蚀刻（WCE）工艺。设备配备高压电源、等离子体发电机、长寿命蚀刻室。TEGAL 903 E的强大功能使先进的蚀刻应用具有临界长宽比、高长宽比蚀刻、高长宽比各向异性湿蚀刻和先进的掺杂技术。903E的真空室额定最大内部压力为1.5 mBar，整体腔室容积为120升。它可以同时容纳多达12个晶圆，并配有一个特殊的DC/RF双模等离子体发生器，提供对蚀刻过程的精确控制。该系统的气体输送线可用于广泛的蚀刻过程，如粉末蚀刻、反应性溅射、化学气相沉积（CVD）和反应性离子蚀刻（RIE）。903 E专为长期使用和可靠性而设计。长寿命室采用全金属结构，保证了优异的蚀刻效果。专门设计的输气线采用了喷粉器、阀门控制器、多个气瓶插槽、安全/防爆关闭阀等先进技术。TEGAL 903E提供内置温度控制和精确端点检测,用于精确的过程控制。该单元与广泛的晶圆载体兼容，包括不锈钢托盘和陶瓷载体晶圆。该机还配备了高精度蚀刻控制软件TEGATEM，可用于微调蚀刻工艺参数。该工具配备了安全、人性化的安全资产，包括了多种安全功能，如防保险杠、气体安全关闭阀、遥控关闭能力以及从远程位置控制蚀刻器的能力。TEGAL 903 E旨在满足复杂MEMS和纳米技术应用中的专业蚀刻工艺要求。它是满足各种蚀刻需求的理想工具。