二手 TEGAL 903E #293806912 待售

TEGAL 903E是一种非常精确的蚀刻器/asher,非常适合电镀、掩蔽和半导体器件制造等应用。它是TEGAL系列蚀刻器的一部分，能够处理直径不超过8英寸的晶片。它具有创新的自动化PVR（精密真空调节）系统,通过确保整个周期的均匀真空,消除了对过程压力的手动控制。这种改进的真空控制有助于保持精确的蚀刻参数并确保最佳结果。此外，TEGAL 903 E配备了定制设计的双头电加热元件，设计用于在晶圆上均匀分配热量。该蚀刻器还具有强大但用户友好的控制系统。根据蚀刻工艺参数将晶圆温度保持在精确范围内。内置倒计时计时器可确保可靠的蚀刻过程。此外,903E还利用基于Windows的专用软件程序来控制计算机。这允许自定义参数,并且可以更轻松地跟踪蚀刻过程。蚀刻器还配备了一个精密的数字冷却器，可以调节温度。这通过确保晶片在该过程中不会过热，提高了蚀刻过程的准确性。此外,903 E还具有内置的运行时记录器,可以更轻松地跟踪每个蚀刻过程的结果。TEGAL 903E的最大蚀刻速率等于或大于每分钟20微米，非常适合精细材料的精密蚀刻。它还能够通过高密度聚酰亚胺、聚酯和石英基板进行蚀刻。这使得它适合用于半导体器件制造、精密加工等高科技产业。蚀刻器的设计和制造符合最高质量标准。其所有部件均由耐腐蚀不锈钢制成，旨在提供多年的可靠、高效运行。TEGAL 903 E出厂前经过严格的测试和检验，并附有一年保修。因此,它提供了一种可靠且经济高效的蚀刻大小晶片的方法。