二手 TEGAL 903E #293811530 待售

TEGAL 903E是一种精密的等离子体蚀刻工具,用于处理基板上的表面.它具有ICP（内冠压力）系统,能够精确控制蚀刻速率。它常用于微电子制造、微机电系统（Micro-Electro Mechanical Systems）装置制造、研发、医疗设备制造等需要先进控制蚀刻速率的领域。它有一个多功能的真空室，可以配备气体控制器、卷轴、隔离系统和旋转涂层等一系列配件。它的最大工作压力为500 mTorr，可容纳6英寸（152.4毫米）的基板，加工温度可达200摄氏度。它还拥有一整套软件，使用户能够精确控制等离子体蚀刻参数和监测室内条件。TEGAL 903 E配备了先进的ICP（内冠压力）源，确保了蚀刻过程中的稳定工作环境、均匀性和可重复性。使用ICP系统，蚀刻压力可以维持在几毫托以内，从而在整个基板上实现更大的均匀性。此外，903E还具有可变转速的旋转电极，可以很容易地调整以达到所需的蚀刻速率。通过启用变速旋转，可以根据工艺的需要来改变蚀刻速率。转速和蚀刻速率可以在每分钟0.1到800 nm之间。903 E也有独特的介电窗，以更好的调节等离子体环境。这些窗口允许等离子体角聚焦和径向聚焦，从而产生高清精密蚀刻。TEGAL 903E还具有模块化结构,可轻松安装和快速维护。它配有集成晶圆功率测量单元，用于监测蚀刻过程中基板的能级，以获得可靠的性能。TEGAL 903 E是一种用于高级基板蚀刻的通用且可靠的设备,具有多种功能以确保准确且可重复的结果。适用于常规生产、研发等，使其成为许多工业和科学应用的理想工具。