二手 TEGAL 903E #293824944 待售

TEGAL 903E是一种用于制造半导体和其他电子材料的高通量工艺的蚀刻器/asher。它设计用于薄膜的溷合、蚀刻和灰化，包括金属、合金、氧化物和半导体器件中使用的其他材料的薄膜。TEGAL 903 E是一个可编程、过程兼容的系统。它能够产生具有多种参数的精密蚀刻和灰化工艺，如腔室压力、蚀刻气体流量和灰化温度。它有一个内置的过程控制器和监控软件，提供了一个简单的方法来设置和监控过程。903E采用双腔室设计,允许同时处理蚀刻和灰化两种模式。蚀刻过程在左室进行，而灰化在右室进行。该装置有一个三级提升臂，可方便地将样品放置到工艺阶段。蚀刻过程使用反应性离子完成。蚀刻气体引入下腔，电离气体再由电场加速至基质。离子的能量导致蚀刻过程发生，蚀刻深度可以通过改变电场的功率来改变。灰化过程发生在上室，在上室引入氧化气体。利用射频电源产生热量，导致氧化过程发生。然后气体被清除出室内，留下一个灰化的样品。灰化的温度可以变化，以改变氧化速率和灰化过程的深度。两个腔室和提升臂提供了执行多步蚀刻和灰化过程的灵活性。该装置还配备了腔室视口和数字成像系统，可方便地进行故障排除和观察，而无需打开腔室。903 E是一种易于使用的蚀刻器/asher,它提供精确的工艺和广泛的参数,用于蚀刻和研磨薄膜。双室设计和提升臂为多步工艺提供了灵活性，便于样品放置。内置的过程控制器、腔室视口和数字成像系统也使监控和观察过程变得容易。