二手 TEGAL 903E #293824945 待售

TEGAL 903E是一款功能强大的最先进的机电蚀刻器/asher,专为生产精密薄膜光掩模而设计。TEGAL 903 E利用热加速蚀刻，或称"TEGAL"，以可靠的均匀性实现高通量和精确蚀刻（或灰度）。该设备设计为半自动运行，在自动化和手动控制之间提供最佳平衡。903E的核心是一种精密制作的石英熔饼，用直接电阻加热轻轻加热。这消除了热点,并确保精确蚀刻具有非凡均匀性的薄膜光掩模。石英熔饼一次最多可容纳48种基材，提供高效的批量蚀刻/灰化。该系统能够产生厚度为0到2000 nm、分辨率为0.4 nm的蚀刻（或粉碎）层。光电子单元允许精确绘制层厚度的图样，从而能够快速生产细分的掩模图样和照片掩模。903 E围绕安全性和可靠性设计。整个过程由两个独立的传感器和一个智能数据记录机监控，允许操作员远程监控整个过程。如果发生意外危险或故障，TEGAL 903E将立即关闭并向工作人员发出警报，防止潜在危险和伤害。TEGAL 903 E非常适合晶片级和面板级生产,最高生产速度为1 x 10^4/小时。该工具与广泛的加工材料高度相容，包括硅基板、砷化氙、砷化氘等多种材料。总体而言,903E是一款功能强大且可靠的机电蚀刻器/asher,旨在满足当今高端光掩模生产的需求。该资产能够以快速、安全和可靠的方式生产超精确的蚀刻（或灰）层,从而确保每个应用程序的最佳产量和质量。