二手 TEGAL 903E #293827709 待售

TEGAL 903E蚀刻器或asher是一种高端、生产级设备，专门开发用于快速沉积和去除各种半导体制造工艺中的各种薄膜、层和结构。它利用最新技术在一系列应用中提供高质量的成果，如薄层沉积、晶圆级细间距通风、矿坑和沟槽的精密蚀刻以及植入的掺杂剂。该机基于微机电系统（MEMS）平台，采用激光感应热蚀刻（LITE）专利工艺沉积和去除10至100纳米厚的薄膜。TEGAL 903 E还提供了一个小至两纳米的工艺窗口。903E设计用于在单个晶片上处理大量生产,并且可以加工直径不超过8英寸的晶片。它还支持从每批5个到最多40个晶片的广泛批量。该机配备了一个可以选择载管、旋转旋转木马或航天飞机的转运室，以及晶圆的快速装卸。这使得903 E能够快速、准确地传输各种晶圆大小、形状和拓扑,并且只需最短的设置时间。蚀刻器/asher是完全自动化和PLC控制的,并具有动态图形用户界面。这使工程师和操作员能够快速设置机器，并在蚀刻和沉积过程中准确监控进度。该机还提供了一系列过程监控功能，如气流监控、温度控制、压力反馈等。TEGAL 903E还提供了一系列安全功能,如紧急关闭和自动去除晶片,以备不时之需。TEGAL 903 E配备了高分辨率成像系统，可实时测量沉积层和蚀刻特征，在蚀刻和沉积过程中提供高水平的控制和准确性。该单元还配备了先进的软件包，提供了广泛的工艺配方，从而能够进一步的工艺控制和优化。总之,903E 蚀刻器/asher是一种高端、功能丰富的机器,具有经济高效的设计。它能够制造高精度的薄膜、层和结构，在薄层沉积、晶圆级细间距通风、坑沟精密蚀刻等应用中实现高精度和重复性。其自动化和PLC控制的设计，加上一系列的安全特性和实时测量能力，使得903 E成为各种半导体制造工艺的理想选择。