二手 TEGAL 903E #293827885 待售

TEGAL 903E （Etch/Ash）设备是一种高度先进且用途广泛的蚀刻和灰化系统,用于半导体制造过程。TEGAL 903 E以其可靠性和可扩展性着称，使其成为业界备受推崇的工具。903E蚀刻/灰分装置有一个集成的化学输送机，其中包括一系列化学来源、入口和出口歧管以及两个气体溷合器。这确保了整个蚀刻或灰化过程中准确的化学浓度和输送。蚀刻/灰烬工具还具有一个大型晶片平台，能够容纳350 x 350 mm的晶片。该平台配有晶圆方向图和精确索引每个晶圆位置的探头。903 E除了其集成的化学输送资产外，还设有一个电子控制室，设计用于蚀刻和灰化应用。该腔室设计为提供可靠、可重复的蚀刻或灰化环境，可针对不同的应用进行精确调整。此外，E-卡盘设计提供了均匀真空和可重复、均匀的磁力。TEGAL 903E专为高分辨率蚀刻或灰度设计,具有出色的工艺一致性和可重复性。电子束、可调室快门和自动对焦能力都有助于确保整个过程中保持图样精度。TEGAL 903 E还具有强大、用户友好的控制模型,用户可以对蚀刻/灰分食谱进行编程,并保存已完成的食谱以供将来参考。此外,设备还允许用户在蚀刻和灰化过程中监视过程并跟踪配方和其他参数。903E是一种非常先进的蚀刻和灰化系统，非常适合半导体行业的应用。它的许多高级功能确保了蚀刻和灰化应用程序的最高精度和统一性。该装置的可靠性，加上其可扩展性和出色的工艺均匀性，使其成为许多蚀刻或灰化应用的理想选择。