二手 TEGAL 903E #293828279 待售

TEGAL 903E 蚀刻器/asher是一种用于蚀刻和粉刷晶片和基板的高效设备。它设计用于从硅到所有金属、介电或有机的广泛材料，非常适合半导体、医疗器件或微电子工业使用。TEGAL 903 E采用多功能一体设计,具有高效的多不易损过程室,允许用户快速轻松地在蚀刻和灰化过程之间切换,从而减少了停机时间并提高了生产率。这种直观的设计还配备了多气体能力，能够结合不同的气体化学，以最好地满足用户的需求，而宽广的温度范围增加了系统的潜在应用广度。903E包括通过智能程序进行过程管理,该程序可进行调整以优化蚀刻和灰分过程。这种工具上晶圆监测技术使用户能够准确测量表面地形，实时测量蚀刻和灰烬的结果。此外，该机组还配备了先进的安全功能，如自动超压和减压阀，以防止在加工过程中出现危险情况。903 E还具有可扩展的处理体系结构,这意味着可以将多个单元连接在一起以提高机器吞吐量,从而允许用户随着处理需求的发展而增加容量。该工具包含一个可定制的工程师软件包,允许用户对其资产进行编程以提高效率和有效性。此外,该软件还具有内置诊断功能,可快速轻松地进行故障排除。总体而言，TEGAL 903E蚀刻器是一种高效、可靠且先进的蚀刻和粉刷晶片及基板模型。TEGAL 903 E凭借其独特的设计、高效的多非挥发性工艺室、多种气体能力、温度范围、先进的安全功能和可编程的工程师软件包,确保用户每次运行都能获得快速、准确的结果。