二手 TEGAL 903E #293828280 待售

TEGAL 903E是一种最先进的蚀刻器/asher,旨在满足各种应用程序的需求。这种坚固耐用的设备具有高效的蚀刻和灰化能力，是工业用途的理想选择。通过将可靠的性能和精确的控制相结合，TEGAL 903 E是各种应用的经济实惠的选择。903E是一个双室系统，包括一个两位置，多枪单元和一个固定中心，可变蚀刻枪配置。双位炮单元允许同时精确控制两把蚀刻或冲洗枪，允许使用者在同一个腔室中进行多个过程。定心、可变蚀刻枪配置进一步增加了903 E的控制和应用范围，允许蚀刻或灰化参数的精确变化。TEGAL 903E能够以高精度蚀刻/灰化硅基板至8英寸见方。它还具有计算机控制的反向偏置射频源，能够精确控制蚀刻或灰化过程。TEGAL 903 E旨在确保一致的结果,即使经过多次相同的运行也是如此。现场RF监视器允许用户在蚀刻和灰化过程中检查RF源和过程参数,从而洞察过程中可能出现的任何潜在异常。903E提供了许多有用的过程控制功能。可以对设备进行编程,以执行预设的蚀刻或灰度深度,以及对阵列区域的不同深度。机器还包括动态范围的工艺参数，允许精细调整蚀刻或灰化工艺。这些过程控制提供了高度的可靠性，允许用户实现可重复的结果。903 E由优质部件和材料构成，是一种非常耐用的工具。资产可以承受广泛的环境条件，包括温度变化和接触酸、碱或溶剂。该型号还具有自动关机设备,可防止TEGAL 903E过热。总体而言,TEGAL 903 E是为满足工业用户的需求而设计的高级蚀刻器/asher。它具有强大的设计、精确的控制和可靠的性能,是各种应用程序的绝佳选择。