二手 TEGAL 903E #293828281 待售

TEGAL 903E 蚀刻器/asher是一种先进的集成晶圆蚀刻和灰化设备,为半导体器件制造提供高通量和高质量的蚀刻和灰化。它能够在单个工艺步骤中将几乎所有材料高速蚀刻到均匀的深度。TEGAL 903 E的设计考虑到了最高的效率和可靠性，以满足集成电路（IC）制造的需求。903E采用先进的气体输送机制，在蚀刻和灰化过程中均达到均匀性和最优反应条件。在蚀刻阶段，系统在不同压力下提供工艺气体的选择，允许精确控制反应温度和蚀刻均匀性。它采用新型气体控制装置，能够精确控制气体流动、气体压力和温度，实现高性能蚀刻速率。此外，该机还采用先进的多点蚀刻头设计，用于快速的即时晶片交换和增强的晶片层匹配。903 E灰化阶段是为精确控制沉积速率、均匀性和总沉积而设计的。这一过程是由一种先进的氙氧溷合物驱动的，不需要任何专门的前体，并达到最佳质量的爆破表面。该工艺可用于毯式晶片和预制晶片。它还包括一个冷却的底部，用于最小化ashing时间和确保完全去除蚀刻残留物。TEGAL 903E具有多种安全功能和工具操作检测功能,使其成为最安全、最可靠的系统之一。它具有先进的操作监测系统，不仅提供对资产和流程数据的连续监测，而且还可以检测环境和流程参数中的异常情况，在发生任何有害影响之前立即作出反应予以纠正。TEGAL 903 E的先进设计和技术使其成为半导体行业不可或缺的工具，提供无与伦比的蚀刻和灰化性能。它非常适合那些需要性能、可靠性和均匀性且环境影响较小的用户。