二手 TEGAL 903E #293828282 待售

TEGAL 903E是为等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）应用而设计的蚀刻器或asher。此设备能够创建高长宽比阵列,并在广泛的工艺范围内提供卓越的性能。TEGAL 903 E专为精确等离子体控制而设计，可以制作高长宽比模式的精确沉积层。903E的技术使它能够在广泛的压力范围内提供卓越的蚀刻效果。它包括一个自对准、精确的等离子体输送系统和精确的基于模型的控制工程。该单元利用其专有的高能等离子体技术，为其蚀刻过程产生致密、均匀、高能的等离子体。这样就产生了高长宽比图样,具有更高的突破速度、表面精度和蚀刻均匀性。903 E除了提供高性能等离子体蚀刻外，也是一款高效率的机器。它采用MASCOT（溷合纵横比控制和优化技术）帮助减少材料消耗和循环时间。这项技术能够实现高精度沉积，以及屏蔽不必要的材料远离基板。TEGAL 903E还包括一个获得专利的激光终止工具，它可以防止工艺气体凝结和热应力造成的损坏。此资产使模型能够快速准确地创建定义明确且高纵横比的模式。TEGAL 903 E还提供高分辨率图像采集、实时监控、模式可重复性、低耐力控制等高级计量能力。这些集成功能使设备能够快速调整温度、压力、定时和蚀刻速度等参数。此外，903E是为安全和遵守全球安全标准而设计的。它具有高度安全的操作系统,具有密码保护的访问权限,以及自动关闭和高级自检功能。总之，903 E是一种先进的蚀刻器，设计用于高性能等离子体蚀刻和沉积应用。它在广泛的工艺范围内提供卓越的性能,并且由于其MASCOT技术而高效。此外，它还具有先进的计量能力，激光终端装置，并且设计时也考虑到了安全性。