二手 TEGAL 903E #293828284 待售

TEGAL 903E是半导体制造业的高性能蚀刻器/asher。它具有较大的加工室和低压蚀刻能力，非常适合生产尺寸精确、产量高的半导体零件。TEGAL 903 E具有令人印象深刻的25个4 "x 6"蚀刻板，可以装入腔室并快速轻松地上盖，从而可以更快地周转时间和更高的效率。电路板在密封的清洁室中受到保护,提供清洁和一致的环境,确保高质量的最终产品。蚀刻器的主工艺室由一个低压环境的加热石英真空室组成，以提高蚀刻精度。通过最大化等离子体密度，加快了蚀刻过程，导致更大的产量和更高精度的零件周期时间更短。903E还提供了许多其他值得注意的特征。它具有先进的静电聚焦功能,可对晶片表面进行非常干净、均匀的蚀刻。这消除了传统蚀刻技术使离子散射的可能性，使903 E能够提供更高的产率而不影响标准。此外，TEGAL 903E还配备了高分辨率数字化检测系统，能够准确监控蚀刻过程，确保最佳安全和性能。TEGAL 903 E还配置了镍-非晶硅（Ni-Si）作为其主要的溅射动力来源，确保了基板上的均匀蚀刻。这一特性使其成为超复杂工艺中晶片干蚀刻的理想选择,因为它能够生产高性能、准确、高效的零件,在这些零件中可以承受高热和高电流密度。最新的流程软件支持903E蚀刻器,该软件允许自动数字控制开放流程变体。此功能使系统在生产中更可靠、更高效、更具成本效益,从而产生可靠和高质量的最终产品。总之，903 E是半导体制造业的强大、可靠、高效的蚀刻器。其低压、密封的清洁室确保了清洁、均匀的蚀刻，其25块4 "x 6"板和先进的静电聚焦产生了极少浪费的高度精确的零件。通过自动化的过程控制、Ni-Si溅射电源和最新的过程软件,TEGAL 903E提供了最高水平的质量、性能和产量,并且具有无与伦比的成本效益。