二手 TEGAL 903E #33638 待售

TEGAL 903E是一种asher/etcher设备，设计用于在包括硅、蓝宝石、氮化硅和氧化硅在内的多种材料和基板上精确高效地蚀刻、加工和沉积薄膜。蚀刻加工过程的第一阶段是基板预加工。这是由预湿站完成的，该站使用四种清洁溶剂和过滤器在蚀刻前清除基板上的污染物。然后将基板加载到热板上进行预热。TEGAL 903 E有一个称为E-Beam的超线性蚀刻源来蚀刻薄膜图样。该源对基板产生高度各向异性的蚀刻，并保持关键特征尺寸和电气特性。903E使用专有的LLA™ Source工具将薄膜沉积在基板上并用粘合剂粘合。这种沉积工艺保证了成品的均匀一致的质量。蚀刻/沉积过程是一种闭环控制系统，用于优化薄膜沉积的均匀性。可以实时设置，控制时间、速率和压力等参数，同时提供最高精度水平。903 E配备了一系列安全功能，并设计用于保护工人免受伤害。控制单元利用安全关闭机制，防止过载和过热。该机器配有内置火灾报警机，并装有防爆外壳。TEGAL 903E是一种高效可靠的机器，用于各种基材和薄膜的蚀刻和加工。它的闭环控制工具允许重复和精确控制蚀刻/沉积过程，而其安全特性为操作员提供最高级别的保护。