二手 TEGAL 903E #9004065 待售

TEGAL 903E是专门为生产亚微米光刻而设计的蚀刻设备。TEGAL 903 E具有6英寸晶圆容量和全套功能,是满足高级光刻要求的理想选择。903E具有强大的模块化设计,具有高分辨率图像形成系统和专用的高精度XY级。XY级以离散步骤移动晶片,允许对光掩码、灰度掩码和任意复杂度的阵列进行高精度蚀刻。903 E可以用多种介质蚀刻，包括硅、铬、钨和金，以及用于负性光抗蚀剂的光聚合物。该过程可以调整到所需结构的特定层厚度和晶体学取向。此外，该装置可配置为包括一些基于等离子体的工艺，如等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。TEGAL 903E配备了强大的数据分析和操作工具。这为用户提供了实时比较蚀刻结果的能力，并支持定制制作过程的开发。可以在机器的监视器上实时显示各种各样的图像，并且可以轻松地对图样方向和可重复性进行精确的调整。TEGAL 903 E非常可靠,处理速度为25 ppm,维护需求最小化。它配备了安全互锁工具和环境监控功能，以确保用户和机器的最高安全程度。最后,903E附带了一套用户友好的软件,为用户提供了对资产功能的直观控制。903 E具有广泛的特点，是任何先进光刻应用的绝佳选择。