二手 TEGAL 903E #9113440 待售

TEGAL 903E是一种二极管泵浦固态（DPSS）蚀刻设备，旨在满足高通量、大容量高级封装应用的需求。该蚀刻器具有创新的功能和技术,可确保可重复和可靠的性能。TEGAL 903 E旨在提供快速热循环和快速蚀刻,而不会影响准确性或可重复性。该系统能够蚀刻各种基材，包括FR-4、FR-5、聚酰亚胺、射频材料、石英、塑料和金属。也可用于3D微加工，塑料和硬质基板的金属化。903E有一个专利波导设计，使它能够实现高蚀刻精度和重复性，以及高透射。该机组可达到最高250KW的峰值功率，标准最大平均功率为50KW。此外，903 E具有足够的柔韧性，可以支持多种波形格式，如阶梯波、chirp波和可变功率波形。该机配备了扩大的腔室尺寸和浅轮廓，允许在紧凑的足迹中进行高通量处理。为了进一步的灵活性和性能，腔室可以配置一个开放式或封闭式甲板，以及额外的集成组件，如多值传感器，以及快速冷却喷射。TEGAL ETch Tool （TES）软件也可以增强额外的可编程性。此外,TEGAL 903E的用户友好型设计还可以方便地操作、维护和校准。该资产具有专用的图形用户界面,其中包括逐步菜单和实时查看和设置模式。GUI还提供有关蚀刻过程的反馈,并允许在发生故障时进行快速诊断。TEGAL 903 E通过其创新的集成技术套件来确保提高效率、可重复性和准确性。它是晶圆粘合、微波电路封装、纳米加工、三维集成和MEM制造等先进封装应用的理想工具。