二手 TEGAL 903E #9181763 待售

TEGAL 903E
製造商
TEGAL
模型
903E
ID: 9181763
晶圆大小: 6"
Etchers, 6".
TEGAL 903E是一种专为半导体制造过程而设计的全自动、高通量的测试器/测试器。具有225毫米x 225毫米x 6.5毫米工作室和10°C至100°C的工作温度范围,这种高效的蚀刻器/asher提供了无与伦比的均匀性和准确性。TEGAL 903 E配置了多种选项,提供了灵活性,可满足广泛的处理需求,同时仍提供卓越的性能。坚固可靠的903E可以处理多种材料,包括金属、合金、聚合物和其他材料,蚀刻时间不到45秒。精密的陶瓷船卡盘确保了良好的材料-晶圆接触和均匀性。903 E提供三种不同的蚀刻工艺,可精确生产阳极FET、外延层和薄膜设备。一旦完成,晶片就会自动清洗干燥,让系统快速移动到下一批。配备Siemens&TTE软件的TEGAL 903E易于使用和配置,无需专职技术人员。用户友好、图形化的用户界面有助于确保准确性和精确度,而轻型窗帘和联锁等安全功能为操作员提供了额外的保护层。该系统还附带了一个完整的过程配方库,使用户无需费力就能快速、轻松地自定义其蚀刻过程。此外,TEGAL 903 E能够以低至1微米的分辨率生成高分辨率、高质量的图像,用于查看和成像。内置的可编程视觉系统旨在控制舞台运动、温度、真空水平以及其他精确蚀刻的关键参数。为方便起见,903E可以在制造环境中与其他系统和控制器集成。903 E提供卓越的效果,帮助用户以最小的努力实现高质量的输出。坚固的构建、出色的性能和用户友好的UI使其成为制造商和生产设施希望快速准确地创建精密元件和集成电路的理想机器。
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