二手 TEGAL 903E #9250125 待售

TEGAL 903E是专门为生产先进MEMS元件而设计的蚀刻和灰化设备。它是一个自动化的蚀刻和灰化系统，有一个装卸站、蚀刻室和多个晶圆盒等组件，每个都有一个温度控制和监控单元。该单元设计用于处理各种基板尺寸，与单机和多盒式操作兼容。它既能进行湿冲洗，又能进行干蚀刻和灰化操作，精确度低至0.5微米。该过程的自动化允许更高的吞吐量,具有高达4微米的可重复性。这台机器的设计是为了产生可靠的结果,并以最低限度的手动操作.其先进的温度控制和监测工具确保了蚀刻过程的最佳温度设置。它的小尺寸抖动也确保了在蚀刻和灰化过程中的低污染率。它还允许一个一致的蚀刻深度与均匀性跨越基板。资产还包括若干安全功能，如温度过低或过高时的自动报警，以及可针对不同过程调整的若干真空设置。此外，它还具有防冰功能，便于快速和安全的处理。TEGAL 903 E应用范围广泛。它可以用于生产微电子元件、MEMS模块以及电子和纳米电子元件。它为各种蚀刻和灰化工艺提供协议,如CVD、蚀刻、干蚀刻和干灰化。由于其特点和应用，903E是一个可靠和通用的蚀刻和灰化模型。凭借其精确度、高吞吐量和自动化能力，适合广泛的工业和研究应用。