二手 TEGAL 903E #9265524 待售

TEGAL 903E
製造商
TEGAL
模型
903E
ID: 9265524
晶圆大小: 6"
Etcher, 6".
TEGAL 903E Asher是一款功能强大的蚀刻和灰化设备,用于多种应用,如高密度电路板蚀刻、接触处理、全模具阵列和处理等。TEGAL 903 E提供无与伦比的性能,它具有广泛的功能和功能,可以为用户提供最佳效果。903E的设计旨在应对尖端工艺技术中最严峻的挑战。它提供了一种创新的高速蚀刻和灰化工艺,非常可靠,并提供极小的功能。903 E具有广泛的系统操作参数,可实现极其通用的操作并满足最严格的规格要求。在蚀刻方面,TEGAL 903E提供了广泛的蚀刻技术,如干湿等离子体、电化学、RIE(反应性离子蚀刻)等等。此外,该机器还具有内置的用户可选功能,如蚀刻参数设置、气体配方、过程序列控制、配方管理以及通过接触层进行蚀刻的能力。该单元还融合了先进的功能,如离子束蚀刻、高速率蚀刻和扩展范围蚀刻,以及用于批处理的自动装卸机。在灰化方面,TEGAL 903 E还提供了广泛的灰化技术和用户选择的灰化参数来优化工艺。该工具包括先进的灰化技术,如电子束灰化、aqua HF(氢氟)灰化、粘贴回灰化和选择性溅射蚀刻灰化。此外,903E还提供了最高程度的过程控制,包括内置配方管理、过滤资产、气体调节、压力控制等。综上所述,903 E提供了最先进的蚀刻和灰化工艺技术,以及非常先进的功能和功能。它是一种极其可靠的型号,适用于广泛的蚀刻和灰化应用,无论大小生产需求。TEGAL 903E具有广泛的设备参数和用户选择的特点,是先进蚀刻和灰化工艺的理想系统。
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