二手 TEGAL 903E #9269138 待售

TEGAL 903E是一种先进的等离子体蚀刻器/asher。它是一种高级反应性蚀刻器/asher,用于在多层和曲面上创建切口和阵列。此外,TEGAL 903 E是一种高效的蚀刻器/asher,能够在切口之间提供超短距离,从而实现极其精确的蚀刻和图桉。当使用903E时，反应性室充满合适的气体溷合物--通常是含有四氟化碳或氧气的低压反应气体。一旦腔室被填充并且压力被调节，蚀刻器/灰化器被打开，反应气体被引入蚀刻腔室。在这一点上，受控浓度的离子被爆破到样品表面，允许极其精确的蚀刻和图样。蚀刻时间可以改变以满足用户的要求，离子浓度可以针对不同的蚀刻特性而变化。样品暴露在荧光光下引发等离子体介导的蚀刻反应。在此过程中，离子与样品材料发生反应，迅速从样品表面去除物质。在整个蚀刻周期中重复此过程,直到达到所需的模式。蚀刻过程由计算机软件界面控制，以确保准确和可重复的蚀刻特性。为了保持其高性能能力，903 E在蚀刻室内设计了高温加热器板。这样可以确保蚀刻器/灰化器保持最佳温度范围，并且气体保持其反应性状态。此外，TEGAL 903E还利用水平导向的控制臂，允许对反应性离子和样品进行精确和单独的控制。TEGAL 903 E是一款多功能、高性能的蚀刻器/asher,能够在许多不同的表面上创建精确而复杂的图案。它的功能为用户提供了一种可靠、一致且经济高效的方法来创建复杂的蚀刻。