二手 TEGAL 903E #9394684 待售

TEGAL 903E是专门为生产高质量半导体和光掩模器件而设计的最先进的蚀刻器/asher,在广泛的蚀刻应用中显示出卓越的可靠性和性能。它配备了许多高级功能,可确保每次都进行高效、可靠和精确的处理。TEGAL 903 E能够在多种材料上进行深度和高分辨率蚀刻，包括硅片、陶瓷、金属和玻璃。它有一个大的工作室，并配有加力燃烧器来管理灰尘和颗粒。903E独特的线性喷嘴设计确保了高效、高质量的蚀刻,可创建宽度和深度均匀的特征。903 E具有可编程硫酸输送的自动化和预校准蚀刻，每次提供精确的控制和统一的结果。其惰性大气输送设备消除了材料与蚀刻剂之间的接触。这消除了蚀刻剂与底物表面反应造成污染和损害的风险。TEGAL 903E从头开始设计,以满足蚀刻和灰化应用的最高要求,具有处理速度快到中等、各种工艺气体可配置集成、反应性离子蚀刻能力和背面蚀刻支撑等特点。它能够在蚀刻过程中保持材料的完整性，即使在高温下也能提供对温度、压力和流量等参数的精确控制。TEGAL 903 E是一款多合一蚀刻器/asher，具有直观的用户界面和广泛的监控功能，以确保蚀刻过程的质量。它具有多种感测和定位方法，可选择多种视觉系统和图像捕获。机器还带有自动过程控制功能，以确保基板和蚀刻剂的兼容性，以及在不良条件下停止蚀刻器/asher的自动过程。903E设计用于在250至650摄氏度的工作温度下使用各种介质,例如二氧化碳、二氧化硫和一氧化二氮。该系统配有温度控制，监控过程以保持最佳状态。它还配备了先进的安全装置，以实现工作场所的最佳安全。903 E非常适合用于生产和研究环境。该机器设计方便维护，具有嵌入式机器的洞察力，能够进行近距离监控和故障排除。该蚀刻器/asher还配备了一些复杂的协议和保护措施，以确保收集到的数据的完整性并确保流程安全。TEGAL 903E是一种用于蚀刻和灰化应用程序的理想解决方桉,它在多合一解决方桉中提供了无与伦比的可靠性和精确度。其多种特点和先进的安全工具保证了各种基材的一致、高质量的效果。