二手 TEGAL 905 #163758 待售

TEGAL 905是一种蚀刻器/asher，一种用于集成电路（IC）生产中干蚀刻和灰化的设备。它是一种使用多过程气体输送设备的工具，以实现高效和可重复的蚀刻和灰化过程。该工具在超小型平台中具有单一的8英寸晶圆容量,旨在减少占用空间并优化清洁室工作区效率。905具有完全集成的过程控制器,可提供一致且可重复的过程,并具有毫秒级的时间分辨率。其先进的工艺控制技术通过在等离子体操作过程中调整工艺参数来提高蚀刻精度。它的气体输送系统能够独立控制气体，允许用户为每个蚀刻过程选择最佳的气体溷合。TEGAL 905还有一个集成的分销盒式磁带，它减少了进程之间切换晶片所需的时间，并大幅提高了吞吐量。它的可编程卡带位置允许用户调整蚀刻和灰处理的时间，以最大限度地提高生产力和质量。此外,该工具的Opto电池检测可确保一次只处理一个晶圆,从而最大程度地减少污染。905还包括一个先进的安全单元,可实现故障安全操作和最大的正常运行时间。其三层安全机器包括1级和2级联锁工具、压敏过压阀和压敏陶瓷阀。还提供可选的净化泵和排气系统，以保持腔室清洁和没有污染物。凭借先进的工艺控制技术和安全特性，TEGAL 905是满足高精度生产需求的理想工具。其体积小、处理速度快以及集成的气体输送资产为IC制造商提供了高效、经济的解决方桉。