二手 TEGAL 905 #293827391 待售
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TEGAL 905是为半导体制造工艺设计的最先进的蚀刻/asher设备。它是一种高度通用的工具，在制造先进半导体器件时便于精确的材料去除和表面处理。该工具广泛应用于光刻剥离、降序、等离子体蚀刻、表面清洁、材料改性等多种应用中。905 蚀刻器/asher系统具有坚固的结构和创新的设计,可确保半导体处理的高性能、可靠性和可重复性。该装置包括锁载室、加工室、气体输送机、射频电源、温度控制工具、真空泵和先进的控制资产。这些组件协同工作以提供精确和统一的处理结果,同时保持高度的过程控制和自动化。TEGAL 905机型的一个关键特点是它的多用途处理能力。该设备支持广泛的蚀刻化学方法，包括氟基、氯基、氧基和特种气体，允许根据特定材料要求定制蚀刻配方。这种灵活性使系统能够以高选择性和精确度蚀刻各种类型的材料如硅、二氧化硅、氮化硅、金属和电介质。905单元配备了先进的等离子体生成技术，包括电容耦合、感应耦合和远程等离子体源，以实现整个工艺室高效、均匀的等离子体生成。这些等离子体源保证了高度的蚀刻均匀性和对过程参数的控制，如离子能量、离子密度和蚀刻速率，导致了出色的过程重复性和可靠性。此外,TEGAL 905机器还配备了先进的气体输送工具,能够在蚀刻过程中精确控制气体流量、压力和成分。该资产配备了质量流量控制器、压力调节器和气体溷合功能，以创建定制的蚀刻大气，以适应特定的工艺要求。这种对工艺气体的微调控制可以优化蚀刻性能和消除工艺引起的缺陷。此外,905型号还具有高级温度控制功能,可在整个蚀刻过程中保持一致的工艺环境。该设备具有加热和冷却机制，以控制基板温度和腔室温度，确保各种蚀刻化学和材料的最佳工艺条件。该温度控制系统在实现精确蚀刻结果和最小化对基板的热效应方面起着关键作用。TEGAL 905单元还配备了一台精密的真空机，能够快速下泵和高效率地从工艺室内清除工艺副产品和污染物。该工具具有高容量涡轮分子泵、粗加工泵、真空计和压力传感器，在蚀刻过程中创造并保持清洁稳定的真空环境。这种真空资产保证了高工艺纯度，最大限度地减少了颗粒污染，并提高了工艺的可重复性和产量。总之,905 蚀刻器/asher模型是半导体制造的前沿工具,可提供精确、可靠和灵活的处理功能,适用于各种蚀刻和灰化应用。凭借其先进的等离子体生成技术、气体输送设备、温度控制能力和真空系统，TEGAL 905单元使半导体制造商在制造下一代半导体器件方面实现了优越的工艺控制、均匀性和性能。
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