二手 TEGAL 915 #158859 待售

TEGAL 915是由全球半导体制造设备领导者TEGAL Corporation制造的蚀刻器/asher。此蚀刻器/asher用于MEMS和半导体制造,旨在通过高效、经济高效的处理提供卓越的性能和可扩展性。915为多室蚀刻器/asher,具有优化的单室布局。它采用组合蚀刻/灰分工艺，允许用户同时蚀刻和清洁同一腔室的基板。它具有很高的吞吐量能力，每次蚀刻周期可处理多达130个基板。TEGAL 915采用高性能、低功率、高密度直流磁控管溅射设备供电，还包括先进的负载/卸载传输系统，以提高吞吐量。蚀刻/灰分工艺采用了高密度等离子体、预蚀刻和后灰分工艺的组合，产生了优越的蚀刻速率和优异的效果。其多腔室设计经过优化，使Precision Punch特性具有卓越的边缘清晰度。915具有顶级的现场诊断功能,旨在自动补偿缺陷、最大限度地减少缺陷并优化过程性能。它旨在实现虚拟端点,以实现最佳的过程控制和可重复性。它还包括用于精确控制室内温度的冷室.此外，TEGAL 915包含了一系列的安全特性，例如安全联锁单元和化学惰性能力。其先进的快门机确保在基板牢固地固定在腔内之前，基板不会暴露于等离子体或蚀刻物中。此外,915还具有一系列自定义功能,如多种配方存储和易于优化的工具。它设计为易于使用,具有动态接口和远程控制功能,非常适合远程监控和过程控制。TEGAL 915旨在通过高效、经济高效的处理提供卓越的性能和可扩展性,使其成为当今半导体生产需求的理想选择。