二手 TEGAL 915 #293766664 待售

TEGAL 915是由TEGAL Corporation製造的先进等离子体蚀刻/asher设备。专为先进薄膜电介质和电子互连的蚀刻沉积而设计。915是一个高效、高精度的系统，为大批量生产薄膜电路提供了出色的蚀刻均匀性和高通量。它采用创新的模块化设计进行设计,使设备易于安装、维护和重新配置,以实现最佳的过程控制。该机还提供了一系列可编程的过程，以实现高效和可重复的蚀刻。TEGAL 915配备了先进的蚀刻室设计，由两个高流量气体流量控制器供气，允许用户快速调整流量、压力和气体溷合物，以达到最佳蚀刻效果。此外，该室还配备了自动气体检测工具，确保对加工条件的准确控制。通过自动化的过程控制,该资产提供了卓越的过程可重复性和对蚀刻特性的控制.该模型利用最先进的等离子体源对薄膜电介质和电子互连进行可靠、一致和均匀的蚀刻。等离子体源由高性能微波发生器供电，创造出最佳的耐温高效蚀刻工艺。这样可以确保材料均匀蚀刻而不会损坏或失真。此外，915配备了先进的多平面成像系统，为用户提供可视化蚀刻工艺进展的能力。该设备还与广泛的薄膜沉积材料兼容，使得创建更复杂和精确的表面成为可能。最后，系统还配备了强大的远程联网功能，可以让用户实时监控、控制和更新设备。TEGAL 915是一种先进、通用的机器，提供精湛的工艺均匀性和对薄膜沉积工艺的出色控制。其创新的设计和强大的等离子体源使用户能够获得精确一致的结果。此外，其先进的成像系统和远程联网功能使用户能够实时监测和更新该工具，为生产复杂的电子互连提供必要的更多灵活性和控制。