二手 TEGAL 915 #293811527 待售

TEGAL 915是一款高性能蚀刻器/asher,专为小型蚀刻和灰化应用而设计。这台机器非常适合在臭氧敏感膜、碳膜和非晶硅等多种底物上工作。其强大的设计提供了可靠和可重复的处理结果。915利用三轴直线电动机进行可重复和可重复的蚀刻和灰化过程。其机械结构由精密直线导轨和空气轴承组成，用于光滑、精确的蚀刻。腔室采用不锈钢制成，旨在提供更好的工艺气氛均匀性。该室还配备了自动气体注入系统，使化学家能够将不同的气体注入室内，以优化蚀刻过程。机器使用图形用户界面操作，使操作员能够监视和控制计算机的蚀刻过程。操作员还可以调整蚀刻过程的时间、温度、压力等参数。TEGAL 915配有氧气传感器，可提供最佳工艺室大气反馈。它还具有用于连接数据记录、监视和分析的处理前和处理后PC的通信接口。915是小型蚀刻和灰化应用的理想选择,因为它具有高度可重复和可重现的性能。它还配备了先进的软件包，使其用户友好且易于使用。此外,该机器还设计了安全功能,如压力传感器、紧急停止和温度监视器,以帮助保护操作员和蚀刻加工室。TEGAL 915是一种高度可靠的蚀刻器/asher,可让您以最高的精确度和可重复性执行重复蚀刻和灰化过程。此机器旨在提供最佳蚀刻结果,同时减少不需要的错误、最大限度地提高吞吐量和增加过程知识。