二手 TEGAL 915 #293816364 待售

TEGAL 915 Asher是一款在半导体工业中使用的高度先进、可靠的蚀刻器。该蚀刻器能够处理不同尺寸和材料的晶片，包括绝缘体上硅（SOI）、砷化氙（GaAs）和碳化硅（SiC）。与传统蚀刻器不同，由于其先进的微蚀刻技术，它产生了极低污染水平的优质蚀刻效果。蚀刻器包含一个带有加热盖的蚀刻室，使整个晶片均匀加热。这确保了蚀刻过程的一致性和可靠性。加热晶片可确保蚀刻结果非常准确和均匀。该腔室还包含一个射频发生器和一个真空源，两者均用于驱动蚀刻过程。915 Asher拥有四个集成的实时成像（RTI）相机。这些摄像头使蚀刻器能够实时监控蚀刻过程，向操作员提供反馈。这确保了蚀刻过程能够得到准确有效的控制。TEGAL 915 Asher集成了电子束灵敏度选择（EBSS），这使得蚀刻器能够为给定的晶圆材料选择最佳的激光灵敏度。这提高了蚀刻工艺的准确性，并确保蚀刻结果在不同材料的晶片上均匀。蚀刻器还具有自动晶片处理功能，使其能够快速安全地加载和卸载晶片。蚀刻器的设计效率高，成本效益高。它具有几个旨在降低运营成本的功能，如节能加热元件、集成的EBSS选择和自动晶圆处理。蚀刻机还具有低温操作模式，减少设备磨损，提供更长的使用寿命。总体而言，915 Asher是一款高效可靠的半导体行业蚀刻器。其先进的微蚀刻技术、实时成像相机和集成的EBSS选择确保了可靠的蚀刻结果,且污染程度最小,而其低温操作模式和自动晶片处理则确保了高效、经济高效的处理。