二手 TEGAL 915 #84339 待售

TEGAL 915是一种以高度精确的阵列和成像能力而闻名的蚀刻器/asher。该工具采用精密聚焦波束技术进行局部电路阵列设计，并采用集成的自动负载锁进行快速工具设置。它还配有探测站和层压设备,可选配基板测量系统.915有一个专门的工作室，配有建筑墙壁、可调屏蔽、温度控制器、温度传感器和真空系统，有助于保持一致的环境以实现最佳蚀刻和成像性能。该工具包含具有四轴运动的高度精确的扫描头和完整的成像传感器阵列。它还有一个大型真空室，装载能力高达26个全尺寸晶片或等效。一个具有三个可互换喷嘴（气体、蚀刻/亚甲基碘化物和碳注入）的现场可更换喷嘴系统允许对蚀刻过程进行定制和优化。TEGAL 915的整体灵活性使其适合各种应用和过程。它的群集配置利用共享功能,如通用基板传输滑槽（STC）和"区域"连接,允许多个工具协同工作以创建复杂和复杂的模式。915还采用了电离集束光束自动对焦装置，与同级别的其他蚀刻器相比，具有更高的精度和可重复性。TEGAL 915的各种可沉降参数，如基材尺寸、样品类型和厚度、供气比、压力范围等，使得蚀刻工艺的实验和调整更大。该工具通过集成的半自动清洁周期得到进一步加强，以最大程度地提高生产力和安全性。综上所述,915是一种先进的蚀刻器/asher,由于其尖端的成像和光束技术、广泛的可定置参数、灵活的群集配置和自动清洁周期,非常适合高精度的应用。TEGAL 915是一种多合一蚀刻和灰化机，这使得它成为任何参与研发项目的实验室或设施的高度通用和必不可少的工具。