二手 TEGAL 915 #9210224 待售

TEGAL 915是为生产射频MEM、光子器件和纳米电子元件而设计的高精度自动化晶片蚀刻器/asher。这台专门制造的机器具有卓越的精确度和可重复性,以较低的运营成本提供高吞吐量。它利用了一个宽敞的75 x 75厘米开放式腔室和内置气体歧管以及各种工艺气源，使用户能够创造出与各种化合物的最佳涂层厚度和均匀性。它的双阴极电子束源提供了极为均匀的蚀刻速率，使用户能够准确确定蚀刻时间并最大化屈服。此外,915通过其前置负载装卸配置、直观的控制设备和全面的集成功能,确保了可靠高效的流程。由于其先进的冷却系统，所有组件都保持在低温状态，使得蚀刻过程干净、安全、稳定。闭环反馈技术进一步确保了蚀刻结果的可重复精度，也提高了装置的可靠性。它定期监测操作参数，并对最优波动进行实时调整。此外，TEGAL 915具有坚固的硬质防护涂层和超清洁技术，可防止工艺气体泄漏和蚀刻结果受到污染。在保养保养方面，915低保养，人性化。其自动自我检查HMI可让用户随时了解组件状态,并提供对警报的快速访问,使用户能够随时了解性能级别。最后,它由一个先进而全面的技术支持团队作为后盾,确保对机器进行校准并保持完美的工作状态。