二手 TEGAL 915 #9220755 待售

TEGAL 915 蚀刻器/asher是一种计算机控制的蚀刻和灰化工艺，用于制造半导体晶圆。它具有四个沉积源、三个独立的旋转蚀刻/灰化电极和一个自动化加工室的集成炉。915采用先进的OptiPulse™技术设计，对整个基板表面的蚀刻深度和均匀性进行精确控制。该设备还能够处理多晶硅、铝、镍、钛等多种薄膜材料。TEGAL 915旨在提供高度均匀的蚀刻和灰化。它使用了一系列集成过程,例如增强型LPCVD （ELPCVD）过程,以确保全球控制蚀刻深度和均匀性。其OptiPulse系统允许精确的蚀刻均匀性和深度降至1微米水平，并具有可调的蚀刻速率控制，以微调蚀刻轮廓。它的四个沉积源设计为提供高沉积速率、均匀性和精确的薄膜层厚度控制。专用旋转电极能够根据用户绘制的形状精确形成蚀刻图样。915装有一个大的加工室，能够处理多达2英寸厚的晶圆。一个全面的控制单元允许自定义的自动配方创建和对参数的轻松访问,允许用户微调过程以获得最佳结果。其灵活的自动化允许快速的流程转移和高效的吞吐量；其密集的用户友好图形用户界面可以方便操作和配方召回。综上所述，TEGAL 915 蚀刻器/asher具有多种特性，能够对多晶硅、铝、镍、钛等薄膜材料进行快速、均匀的蚀刻和粉刷。其OptiPulse机器可确保精确的蚀刻深度和均匀性,而其集成的工艺和旋转电极可实现微调定制和自动配方创建和召回。915旨在提供快速的流程转换、高效的吞吐量和卓越的统一性。