二手 TEGAL 915 #9244755 待售

TEGAL 915是一种高精度蚀刻/Asher设备，专为要求硅片、铜和镀铝泡沫基板等基板精确蚀刻/Asher等要求最苛刻的应用而设计。它利用自由空间激光技术和催化化学蚀刻技术进行精确、精确的蚀刻和烧蚀。915激光源能够处理半导体和非半导体材料，在整个温度范围内具有很高的精度和可靠性。该激光器配有旋转镜提供均匀精确的激光空间图样，以及可控制激光束空间图样的扫描仪头。该系统还能够提供广泛的激光频率。它的宽轨检流计扫描单元提供了对激光功率的动态控制，从而可以准确、精确地定义所需蚀刻材料的确切数量。TEGAL 915还提供了多种催化化学蚀刻选项。该机器可进行编程和控制，以便将不同的蚀刻化学物质沉积在不同深度的不同材料上。这允许精确控制将关键尺寸蚀刻到晶圆表面,并创建复杂的设计和图案。除了蚀刻的精确度和精确度外，915还包含了一些安全特性，如保护罩和密闭安全门，以及收集蚀刻过程中产生的任何危险副产品的真空室。该工具还配备了自动化的自清洁功能，可减少资产和晶圆的污染。TEGAL 915是一款高度先进的蚀刻/Asher模型，旨在满足最苛刻的蚀刻需求。其精密、安全和先进的控制特性，使其成为一种高度可靠和高效的设备，用于各种材料的蚀刻。