二手 TEGAL 965 #293656298 待售

TEGAL 965是一种先进的等离子体蚀刻器，广泛应用于广泛的行业，如半导体、光学和医疗器械行业。965能够控制许多蚀刻加工参数，使其具有高度的通用性。TEGAL 965还可以蚀刻多种材料，包括硅、铝亚硝化物和砷化氙等。965具有先进的8英寸晶圆加工室，可配备2径光束线，提高机器的蚀刻速率。TEGAL 965具有集成的全自动等离子体源,可以更快地调整和控制蚀刻速率,从而提高过程的均匀性和可重复性。该机具有出色的工艺控制能力，能够设置各种计时周期，检查压力传感器读数，甚至在需要调整工艺参数时重复相同的蚀刻周期长达五次。965还提供了广泛的高级功能,使其在市场上的其他蚀刻商中脱颖而出。该机配有多喷嘴系统，可自动控制蚀刻时间和蚀刻速率。它还包括一个可调节的PIEZO振荡器，允许对蚀刻过程进行更精细的控制。TEGAL 965还具有一个自动晶圆机械手,可实现晶圆的更高精度定位,以及一个全局蚀刻算法,可确保蚀刻通道的均匀性和可重复性。总体而言，965对于那些在工艺过程中需要高精度和精确度的人来说是一个极好的蚀刻器。它具有许多高级功能,使其成为一种通用工具,并且在各种应用程序中都非常可靠。精密控制蚀刻过程的能力是一个很大的优势，允许用户以极高的精度轻松复制过程。TEGAL 965是寻求各种材料蚀刻可靠和通用工具的人的绝佳选择。