二手 TEGAL 965 #293753247 待售

TEGAL 965蚀刻器（或asher）是一种先进的蚀刻和灰化工具，用于制造半导体芯片。能高速蚀刻、粉刷大面积，效果优越。大面积分为蚀刻区和灰化区两部分。机器可以从5"到8"的基板加工，最多12"被推荐以获得最佳效果。965采用了专利气体溷合技术，允许高密度等离子体（HDP）蚀刻，通过改善等离子体均匀性、等离子体清洁的高均匀性和减少晶圆翘曲，实现了更快的蚀刻速率。蚀刻过程使用高频射频（RF）等离子体快速、均匀地去除材料，既减少蚀刻时间，又提高基线蚀刻效果。蚀刻时间可以根据特定应用程序定制,从而缩短周期并提高吞吐量。蚀刻处理不同的气体，如氮气或氦气，以达到特定的期望结果。有专门的蚀刻工艺，如反应性离子蚀刻、氧活性离子蚀刻、光刻蚀刻。蚀刻器还可以执行剥离、变薄、蚀刻后修改等其他过程。TEGAL 965的ashing process uses oxygen-based plasma to uniformly remove material from the wafer surface.HDP灰化工艺也可用于高速、高均匀性和高纯度材料的去除.该工艺优于传统的敏感晶片灰化工艺，提供了更好的均匀性和纯度。965是一种可靠且有价值的晶圆制造蚀刻/灰化工具。它易于设置和操作，以精确度和速度着称。这与高质量和统一的工艺结果相结合,使得TEGAL 965成为各种应用（包括MEMS、微处理器和无线通信）的理想工具。最后,功能齐全的965提供了优于蚀刻和灰化工艺的控制,从而也实现了最佳效果。