二手 TEGAL 980ACS #9395473 待售

TEGAL 980ACS是一种由半导体加工和研究专业人员设计的蚀刻器和asher。它是一种全自动、高速、高通量的设备，设计用于处理各种应用中的晶片。TEGAL 980 ACS具有基于PC的控制系统和16-bit-RISC-driven体系结构,可确保快速、高精度地控制蚀刻过程。该股还提供广泛的能力，包括：多种工艺配方和高度可调的参数设置；基于Windows XP的图形用户界面（GUI）,用于配方和参数选择；温度、压力和流量控制；装载和卸载选项；还有一台750W的微波发电机。蚀刻器有两个独立的腔室，每个腔室最多可容纳一个6英寸的晶圆。在所有其他蚀刻参数保持不变的情况下，这两个腔室都能够被动或主动地进行调节。室温可以从室温到700°C进行编程,并能够以每秒3°C的速度加热。980ACS还配备了一个自动加载/卸载机，设计用于与各种传输磁带和晶片盒式磁带兼容。该工具每分钟可处理多达12个晶圆，并设有一个触摸屏显示器，用于记录和显示实时蚀刻过程数据。资产以三相208-VAC动力运作，能够向两个会议厅提供多达750W的动力。980 ACS作为工业上最先进的蚀刻机之一，能够精确地产生高达μ m的蚀刻深度，因此非常适合深层蚀刻、植入和光刻等应用。