二手 TEGAL 981 #9249070 待售

TEGAL 981是一款先进的蚀刻/asher设备,专为精确度和卓越性能而设计。该系统可用于广泛的蚀刻和灰化应用，包括半导体、平板显示器、MEMS和其他电子元件的应用。981通过提供卓越的灵活性和可扩展性,为高级蚀刻和灰化设定了新的标准。TEGAL 981具有电磁干扰（EMI）还原底板技术，利用导电屏蔽和屏蔽结合晶圆座、电源和歧管基座。这提供了安全和均匀的蚀刻和灰化过程,同时减少了设备的EMI签名。981还设有与各种晶片尺寸兼容的晶片支架、手动和自动压力控制机以及可配置的蚀刻/灰烬工艺配方。TEGAL 981能够快速、精确地蚀刻和粉刷不同尺寸和形状的产品。此工具可配置为使用各种可用的开始和结束蚀刻/灰化配方进行蚀刻和灰化。981还允许对硅、石英、金属合金等不同基材进行蚀刻和灰化，以及在同一蚀刻室中蚀刻玻璃和蓝宝石。除了蚀刻和灰化功能外，TEGAL 981还包括一个用于光刻剥离和植入的启用气体的腔室。这种腔室能够在低压下运行，如100 mTorr，速度高达1,000步/秒。此外，该资产还具有一个用户友好的界面和培训模式以及彩色图形显示。981由优质材料制成，其结构设计为防止污染和消除热量积聚。该车型还符合严格的安全标准，符合不同的国际安全法规。它具有获得专利的能源回收设备（ERS）,旨在降低能耗,同时确保高蚀刻和灰化性能。TEGAL 981是任何蚀刻和灰化应用的绝佳选择。其卓越的性能和灵活性,以及降低的EMI签名,使其成为市场上最先进的蚀刻/灰化系统之一。