二手 TEGAL 981 #9267872 待售

TEGAL 981是一种在半导体和微电子工业中广泛用于多种应用的蚀刻器/asher。981是一款功能齐全的高级蚀刻/ashing设备。它具有用于蚀刻和灰化的自动化三级工艺,并且能够使用200 mm以上的多个晶圆。设备的温度范围为25°C至200 °C，腔室能够进行0-99秒的蚀刻/灰化时间。该系统还具有干蚀能力和可选的气相沉积工艺。TEGAL 981采用了先进的等离子体蚀刻工艺，具有使用各种气体的灵活性。它支持Cl₂、CO₂、CF₄、O₂和H₂，压力范围为10 mtor至500 mtor。这提供了甚至蚀刻最困难的材料，包括多晶硅、GaAs和氮化物，并具有突出的重复性。单元设计还包括温度控制器、真空密度控制器（VADC）、火焰探测器和基于EtherNet的机器控制器。温度控制器监控和调节温度，保持腔室的稳定性。VADC提供了对腔室流量的精确控制，确保了一致的蚀刻速率。火焰探测器可防止腔内发生任何不需要的点火,基于EtherNet的工具控制器和用户界面可简化操作、监控和诊断。该室具有终极载荷锁（Ultimate Load Lock, ULL）资产,具有独立的载荷门和卸载门。该模型消除了内部污染，确保了晶圆的清洁度和可复制的组合物质量。压力控制精度高，可重复，压力范围为1 mtor至700 mtor。这样可以准确控制蚀刻速率和高质量的蚀刻结果。981是蚀刻和灰化精密元件的完美解决方桉。其先进的特性，包括先进的等离子体蚀刻、精确的压力和温度控制以及高通量，使其成为广泛应用的理想解决方桉。