二手 TEGAL Chamber for 415 Plasma asher #293661202 待售

TEGAL 415 Plasma Asher是一款精密蚀刻器/Asher，旨在为广泛的湿式和干式等离子蚀刻应用提供最高质量、可重复的结果。该腔室旨在优化吞吐量、可重复性和过程控制。TEGAL 415 Plasma Asher具有一个大容量的石英室，为各种蚀刻化学物质提供优化的均匀性和温度控制。腔室的车身采用耐用、重量轻、阳极氧化铝制成，可快速轻松地打开维修和填充。用户友好的PC显示屏允许轻松设置和监视参数。TEGAL 415等离子体灰烬还具有独特的、集成的、先进的电子束激活源，可以产生最优质的等离子体。这样可以确保高效、可重复的结果,而无需昂贵的构建块或额外的设备。它具有可调电源,可精确控制工艺参数。TEGAL 415 Plasma Asher还拥有高质量的设计特点，包括可调节偏置电压、可调节压力、低I/O延迟和低温冷却的工艺气体管线。这些功能允许更高的质量、更高的重复精度以及提高刀具组件的使用寿命,同时提供更严格的规范控制。TEGAL 415 Plasma Asher还提供多种安全功能，保护操作员和设备免受潜在危害。例如,腔室包括一个紧急关闭开关,如果检测到压力升高,该开关就会接合。还有一个警报系统，会在操作员出现任何潜在的安全问题之前提醒他们。TEGAL 415 Plasma Asher具有高度灵活的设计,使其易于配置用于各种蚀刻应用,非常适合各种生产过程。广泛的蚀刻能力使该系统成为任何生产线的完美工具。凭借其全面的功能，TEGAL 415 Plasma Asher是当今最好的蚀刻解决方桉之一。