二手 TEGAL CS980 #293754219 待售

TEGAL CS980是为先进的半导体和微电子制造工艺而设计的最先进的蚀刻器/asher设备。这种高度通用的工具集成了多个过程模块,使各种蚀刻和灰化应用程序具有卓越的精度和控制能力。CS980配备了先进的特性和功能,使其成为研发以及需要可靠和高性能设备的生产环境的领先选择。TEGAL CS980采用模块化设计,可轻松定制和扩展,以满足不同流程应用程序的特定要求。系统通常配置有多个处理室,每个处理室都专用于特定的处理步骤,如蚀刻、剥离、清洁或表面修改。这种模块化布局允许对多个基板进行并行处理,从而实现高效的工艺集成并最大限度地提高刀具利用率。CS980的关键能力之一是其先进的等离子体处理技术，使气流、压力、功率、温度等参数的精确控制达到高度均匀和可重现的效果。该机组配备了高频射频等离子体源，产生适合高精度蚀刻和灰化工艺的低压等离子体环境。射频源的工作频率在MHz范围内，在整个加工室提供出色的等离子体稳定性和均匀性。TEGAL CS980还配备了先进的气体输送机，能够在加工过程中精确控制气体流量和成分。该工具包括质量流量控制器、压力调节器和气体歧管组件,可确保将加工气体准确可靠地输送到加工室。气体输送资产旨在支持各种化学和工艺配方，使CS980适合各种蚀刻和灰化应用。除了先进的等离子体和气体输送系统外，TEGAL CS980还具有高精度基板处理模型，可确保基板在加工过程中的精确定位和对准。设备配有机械臂、晶片卡盘和末端效应器，能够自动装载和卸载基板，以及精确控制加工室内的基板运动。这种自动化处理系统最大限度地减少了人为干预，降低了加工过程中基板损坏或污染的风险。CS980还包括一个用户友好的界面和控制软件,使操作员能够轻松设置流程配方,实时监控流程参数,并分析流程数据以进行优化和故障排除。软件界面为配方开发、流程监控和数据分析提供了直观的工具，使用户可以通过最少的培训轻松获得最佳流程结果。总体而言,TEGAL CS980是一个高度精密的蚀刻器/asher单元,它结合了先进的等离子体处理技术、精确的气体输送系统和自动基板处理功能,为各种半导体和微电子制造过程提供卓越的性能和可靠性。CS980具有模块化设计、高级功能和用户友好的界面,是一种多功能工具,为半导体行业的前沿研究和生产应用提供卓越的控制和灵活性。