二手 TEGAL Plasmaline 200 #9141854 待售

TEGAL Plasmaline 200是一款先进、高精度的蚀刻器/asher，配备了强大的射频发电机和大容量、负载锁定设备。这台机器的构造是为了进行最广泛的蚀刻过程,并取得最佳的结果.Plasmaline 200上的等离子体发生器产生具有广泛等离子体能级和气体化学成分的高温等离子体。射频发生器可以调整，以便改进对等离子体在蚀刻表面分布的控制。这样就提高了工艺的可重复性和可靠性。高压腔室和负载锁定系统让用户具有较大的进料速率容量，为蚀刻过程提供可控的氛围。可以添加一个可选的汽化器进行汽相蚀刻。汽化物种被输送到蚀刻室内，以进行高度控制的干蚀刻过程。TEGAL Plasmaline 200的易用软件为用户提供了流程开发功能,从而改进了配方优化。该单元配备了每个蚀刻过程的实时监控和数据记录功能，以及具有多个蚀刻头配置的内置晶圆定位。Plasmaline 200的先进设计使其适合于蚀刻包括硅、氮化零、砷化氙等多种材料。机器的自动化技术使生产和测量变得容易，而其高精度和过程重复性使其适合先进的过程开发。综上所述，TEGAL Plasmaline 200是一款功能强大、用途广泛的蚀刻机，利用强大的射频发生器和大容量负载锁定机，保证高精度蚀刻，并取得最佳效果。机器的自动化过程控制和监控功能使其适合用于高级过程开发应用。