二手 TEGAL Plasmaline 200 #9142828 待售

TEGAL Plasmaline 200是一款装有创新电离物理蚀刻技术的蚀刻器/asher，设计用于精密表面处理。它提供高精度、重复性和高速处理，特别适用于纳米级和高通量的应用。通过单室设计,Plasmaline 200易于安装和配置,其每一个组件均可访问,以便于维护。具有先进的单通道单波束光源，具有较高的功率可靠性和较低的噪声操作，可实现最佳的蚀刻精度。在材料蚀刻过程中,微量电动机具有很高的精度和可重复性.可调腔室结构通过一系列基材和工业应用最大限度地提高了工艺产量，促进了高效的表面蚀刻。TEGAL Plasmaline 200 蚀刻器/asher采用高性能等离子体蚀刻技术，旨在实现强大、精确的蚀刻和受控的热分布。电磁产生的等离子体均匀分布，使整个基板上的任何材料均匀均匀蚀刻。利用内置的四重喷射器技术Ar+气体和专用的内部法拉第屏蔽装置提高了Plasmaline 200的蚀刻速率，提供了最小颗粒污染的高等离子体密度。TEGAL Plasmaline 200利用其开放式腔室设计,实现了高效的表面积处理和可预测的工艺性能,提供了更高的产量和更高的吞吐量,并具有最低限度的后加工白蚀刻、无燃料/蚀刻材料再沉积和蚀刻过程中基板上无残留物沉积。Plasmaline 200提供的可调工艺参数包括可调气体流速、蚀刻速率和蚀刻浓度,从而缩短了蚀刻周期时间,提高了在较大表面积上的均匀性。总体而言,TEGAL Plasmaline 200是一种高科技、易于使用的工业蚀刻器/灰化器,可提高产量、提高吞吐量时间和缩短周期时间。它提供了创新、单光束源、多喷射器、低噪声操作和可调节的工艺参数，全部由强大、精确、可重复的技术提供动力。Plasmaline 200以其高性能和广泛的基材和应用，是纳米级和高通量工业蚀刻作业的理想选择。