二手 TEGAL Plasmaline 415 #9239233 待售

TEGAL Plasmaline 415是一款最先进的蚀刻器/asher,旨在提供精确、经济高效的方法,实现对各种材料的垂直轮廓控制蚀刻。该机器的创新设计包括自上而下和左右移动,以蚀刻比许多旧技术更精细的特征尺寸。Plasmaline 415能够对电路板电平天线进行阵列化，制造具有特殊轮廓控制的眼镜，并产生多种尺寸的天线结构。设备采用先进的频率和功率控制，精确控制等离子体能级，允许形成更精细的特征。此外，该系统具有高度精确的气体输送装置，以精确的溷合、压力和流速向加工室输送预编程的加工气体，确保可重复的结果。气体流速、工艺室压力、温度都经过精确管理和监控，以获得最佳工艺条件。该机还配备了人性化的图形用户界面，让用户完全控制机器的操作，包括配置文件、配方和手动控制。软件界面不仅有助于创建配方和控制流程,而且还提供了一套诊断工具和报告,用于故障排除和流程优化。TEGAL Plasmaline 415有多种工艺室尺寸可供选择，从1.6英寸到8.2英寸，能够蚀刻多种材料，包括铜、铝、砷化氙和磷化铵。该工具还配备了高频远程等离子体源和反应性离子板，根据具体应用要求提供干式和湿式（粗糙）蚀刻功能。该资产在实验室和生产环境中表现良好，其设计符合或超过SEMI-S2-0208制造清洁标准。安全特性包括一个密封的加工室，以保护人员免受有害物质的伤害，以及一个内置的再循环过滤器来捕获空气中的颗粒。总体而言，Plasmaline 415是研发以及大批量生产应用的理想蚀刻器/asher。TEGAL Plasmaline 415凭借其精确的精度、可靠的工艺控制、易于使用的软件和安全功能,为各种应用提供了卓越的蚀刻解决方桉。