二手 TEGAL Plasmaline 515 #9244783 待售

TEGAL Plasmaline 515是一款先进的干式等离子体蚀刻和灰化设备。它旨在提供各种材料的串联加工，如氧化硅、GaAs、氮化的和光致抗蚀剂。血浆515具有高分辨率、高真空等离子体源和精密的大面积微波等离子体源。利用多个微波通道，以高效、高效的方式实现精密蚀刻和灰分处理。TEGAL Plasmaline 515采用先进的自动化设计，使其能够自动检测等离子体参数并进行调整，以确保均匀的蚀刻和灰分生产。其精密的控制系统提供了对整个集成处理线上匹配蚀刻和灰烬的精确工程控制。此外，该装置还具有独立的工艺气体控制功能，使其能够达到最佳工艺条件，并快速准确地进行校正。质粒515还能够支持晶圆的多种格式和尽可能高的蚀刻均匀性水平。它被设计为使用新颖的PlasmaJet技术，有助于保持优越的蚀刻均匀性。它还具有可倾斜的基板支架，有助于提高蚀刻图样的均匀性。TEGAL Plasmaline 515采用模块化设计,可根据需要进行升级和增强。它采用完全集成的真空冷却机来冷却蚀刻前后的基板。真空冷却工具有助于提高蚀刻均匀性和工艺吞吐量,同时保持工艺室的使用寿命。综上所述，Plasmaline 515是一款先进的干式等离子体蚀刻器和asher，提供几种材料的在线加工，具有高度精确的蚀刻和灰分能力。它具有先进的自动化、复杂的控制系统和模块化设计,使其能够满足最高的质量标准。