二手 TEGAL Plasmaline #89914 待售

TEGAL Plasmaline是一种用于电介质和金属层干蚀刻的蚀刻和灰烬。它使用高压高温的氙氯气溷合物在工件表面蚀刻和粉刷特征。此工艺可用于浅层和深层蚀刻。此外，asher过程也可以用来提供对局部地形的控制。Plasmaline 蚀刻器/asher有两个用于干蚀刻的腔室。第一室为淋浴头气室，通过淋浴头向反应室中注入高压ArCl气体，形成气体的均匀分布。反应室的压力和温度由ArCl气体溷合物的压力和功率决定。然后在反应室中进行蚀刻过程。第二室是稳定室，在蚀刻过程中控制压力上升，对过程提供额外的控制。TEGAL Plasmaline是一个可以控制压力、温度和气流的全自动系统。这有助于确保一致的蚀刻结果和可重复性。系统的控制是使用与蚀刻器集成的可编程逻辑控制器（PLC）完成的。这允许根据项目的需要轻松更改参数。血浆适合于浅层和深层蚀刻应用。蚀刻过程是各向异性的，这意味着它在某些方向上的蚀刻速度比其他方向更快。通常,特征的拐角辐射边缘的蚀刻速率比平面上的蚀刻速率快。这样可以实现尖锐的特征和紧密的公差。TEGAL Plasmaline也适用于局部地形控制。Asher过程可用于均匀地从允许局部地形变化的设备表面去除材料。这对于需要控制局部地形的平面化和其他应用非常有用。总体而言，Plasmaline是一种可靠而健壮的蚀刻器/asher，可以在各种蚀刻和局部地形控制应用中提供一致且可重复的结果。它对压力、温度和反应时间等参数提供的控制确保每次都能获得最佳结果。