二手 TEGAL Plasmod #133169 待售
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ID: 133169
Etcher, 115 VAC
13.56 MHz RF generator
Manual tuning
Pyrex chamber
Gas input
Inner chamber diameter is 4.25"
Outer chamber diameter is 4.5"
Chamber depth is 6.2".
TEGAL Plasmod是一种最先进的蚀刻器/asher,结合使用物理和化学技术,有效地在各种材料上创建复杂的图案。该装置由一个上部蚀刻室和一个下部蚀刻室组成,在上部蚀刻室中,激光束聚焦,下部蚀刻室用于气体输送。上腔室装有可移动喷嘴,可精确地将CO2激光束对准目标材料。这种激光将能量传递到需要蚀刻的位置。激光能量随后与材料发生反应,去除或改变材料的受影响区域以匹配所需的图样。激光还配备了光束均匀器,保证了更均匀的表面处理。在下腔室中,使用气体发生器用惰性气体填充密闭空间。根据材料和所需的模式,调整气流以符合要求。这有助于使激光能量均匀,从而防止基板翘曲和燃烧。等离子体也能够进行激光诱导的化学蚀刻(LICE),这是一个与常规机械蚀刻接收器相比,在一小部分时间内产生复杂图样的过程。它依赖化学蚀刻剂,如反应性离子蚀刻器,其作用是作为选择性蚀刻剂,并增强激光能量以增加材料的去除。反应性离子蚀刻器还有助于减少表面污染,并在整个蚀刻过程中保持底物完好无损。为了确保精确的图桉,TEGAL Plasmod提供各种质量控制功能,例如三轴CCD摄像机、提供高分辨率图像以及用于快速测量蚀刻区域的自动计量软件。蚀刻器还具有图形用户界面,可轻松快速地设置参数,从而提高生产率和准确性。等离子体是一种用途广泛、功能强大的工具,适用于各种蚀刻和灰化工艺,保证了高精度、质量和可重复性。对于寻求高级蚀刻/灰化解决方桉的用户来说,该设备是理想的选择,能够在航空航天、医疗和汽车行业中提供卓越的效果。
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